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        等離子凈化是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態,當外加電壓達到氣體的著火電壓時,氣體被擊穿,產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。等離子凈化放電過程中雖然電子溫度很高,但重粒子溫度很低,整個體系呈現低溫狀態,所以稱為低溫等離子體。

        等離子凈化子體內部產生富含極高化學活性的粒子,如電子、離子、自由基和激發態分子等。等離子凈化廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應, 等離子凈化最終轉化為CO2和H2O等物質,從而達到凈化廢氣的目的。

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